我國“十五”國家863重大專項——100納米刻蝕機與離子注入機設備9月底研發成功后，已經產生了經濟效益。昨天上午，該項目的科研負責人透露，中芯國際公司已經簽訂了刻蝕機和離子注入機的批量采購合同，合同總價值超過1億元。據悉，此次買賣雙方簽約，是我國國產主流集成電路制造專用核心設備第一次實現批量銷售，標志著我國集成電路制造核心裝備研發取得了重大突破，在產業化上邁出可喜的第一步。


困局

西方國家封鎖技術垂涎中國市場

集成電路裝備業是高技術裝備產業的典型代表。我國集成電路制造業的蓬勃發展為集成電路制造裝備帶來了巨大的市場空間。據預測，到2010年，我國集成電路產業投資累計將達到3500億元，其中大部分將用于集成電路制造裝備投資。這一趨勢使得中國市場成為全球集成電路制造裝備業爭奪的焦點。

中國電子科技集團公司第48研究所所長唐景庭介紹說，集成電路制造專用設備是集成電路產業的核心，是衡量一個國家和地區集成電路產業水平的標志。西方發達國家掌握了集成電路設備技術的制高點，同時對我國實施技術封鎖和禁運。“九五”末期，我國集成電路裝備的水平為6英寸0.5微米，這也是實驗室狀態下的技術水平，與當時國外領先的8英寸100納米生產水平相差5個技術代，國內所有8英寸以上生產線沒有一臺國產設備。

創新

3年走完發達國家15年的研發歷程

據介紹，集成電路制造裝備的核心設備大約有20多件，其中，芯片制造六大裝備中的等離子刻蝕機與大角度離子注入機是其中核心的核心。

2001年4月，國務院批準科技部把超大規模集成電路制造裝備列為重點研究內容。2002年11月，科技部同意北京市政府啟動“100納米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機”項目。在原北京市經委的積極組織協調下，北京電子控股公司聯合清華大學、北京大學、中科院、七星集團等股東組建北方微電子公司，承擔等離子刻蝕機的研發任務。中國電子科技集團聯合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔離子注入機的研發任務。本項目總投資5億元人民幣，由國家、地方、企業三方共同投資。

這兩種設備的研制成功，實現了我國高端集成電路核心設備零的突破，技術水平跨越5代。國外離子注入機技術發展，從500納米跨越到100納米大角度用了10至15年，而我國僅僅用了3年的時間。3年，在1100多個日日夜夜里，依靠一群平均年齡不到35歲的技術骨干，走完了發達國家15年才完成的研發歷程。

變化

北京成為我國集成電路裝備制造業龍頭

在此次科技攻關中，北京北方微電子公司共申報并受理專利147項，其中發明專利135項，擁有軟件版權6項；注入機業主單位——北京中科信公司共申請了各項專利137項，已頒發受理通知書109項，其中核心發明專利26項。此次研發還在世界范圍內組織了一批優秀人才，建立了兩支具有國際水平的研發團隊。培育了集成電路裝備的骨干企業，北京地區正在成為我國集成電路裝備制造業的龍頭。同時，12英寸的刻蝕機和離子注入機的研發也取得較大進展，預計近期可進行在線測試。

唐景庭說，國外每臺刻蝕機、離子注入機的價格約300萬美元，一條完整的12英寸集成電路生產線設備完全進口，需要投資10億美元左右，如果能夠采用國產設備，整線投資約可降低3億美元。由于芯片生產企業降低了生產成本，同時相應的提高了制造芯片的水平，可導致企業產品的價格降低，使消費者買到更便宜的、更先進的電子產品。而且離子注入機整機國產化率已經達到70％，生產商又是本土企業，相對于國外同類設備來說，其成本低廉，設備價格也要低得多。這樣，半導體制造商采購了國產設備，同時也獲得本土公司優質的售后服務，就會大大降低設備折舊和生產營運成本，大大增強獲利能力。

訪談

政府組織協調保證重大科研攻關成功

中科院微電子研究所常務副所長葉甜春認為，此次重大科研的成功，還體現了政府決策和協調在其中的重大作用。

2002年6月6日，當時擔任北京市市長的劉淇陪同科技部部長徐冠華到北京市集成電路裝備骨干企業——北京建中機器廠(現為七星集團公司)進行考察。劉淇代表北京市政府表示，北京市將在國家科技部的支持下，大力發展集成電路裝備產業。隨后，該項目獲得批準。在項目攻關過程中，國家科技部和北京市政府密切配合，確保專項資金及時到位。

北京市工業促進局電子信息產業發展處處長梁勝介紹說，這種重大項目在短時間內完成，也是科研體制創新的體現。在重大項目的科研方面，過去是專家出題、做題和判題，現在是產業出題，企業組織專家做題，市場應用判題。北京市政府不僅制定攻關目標，而且積極跟蹤，針對開發過程中關鍵環節加大協調服務力度。為了該產品的研發和能夠在生產線上做實際驗證，市工業促進局多次組織與生產企業進行協調，最終保證了產品的性能。