1、主要應用于LCD、LED、連接器、鍵合前等大規模生產領域。

 

2、所有元器件及核心部件采用進口，保證了整機的穩定性和使用壽命。

 

 3.真空泵采用進口旋片泵，是適用于等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系， 在抗氧化、耐腐等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大提高，并有效降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，提高了長時間工作極限，泵油為耐高溫、抗氧化油，泵具有可自行緩解溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。

 

4.自動控制系統采用PLC加觸摸屏控制，所有工藝參數、工藝過程實時監控，并顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間紀錄，適合維護，可以提供工藝參考。

 

5.可存儲50組工藝配方，隨意調用。

 

6.清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。

              

7.工藝參數受密碼保護，分級密碼管理查詢。

               

8.一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清洗結束提示等。

               

9.自動提醒系統維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。

               

10.氣體質量流量計采用美國進口，由模擬量輸入輸出，量程為0～200sccm可在量 程范圍內無級調節，根據特殊的工藝要求可用PLC對質量流量計進行PID調節而實現真空度的控制。

               

11.根據特殊的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等,電極結構（專利申請中）的高等離子通量設計能很好地提高等離子體的均勻性及穩定性。中型等離子處理機主要技術數據及規格

 

標準型號

 

技術配置

 QT-48-PSP

 QT-80-PSP

 QT-120-PSP

 

外形尺寸(WHD)

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1500mm×1000mm

 900mm×1600mm×1000mm

 

反應倉尺寸

 W400mm×H300mm×D400mm

 W450mm×H400mm×D450mm

 W450mm×H600mm×D450mm

 

真空腔體材質

 不銹鋼加鋁內襯

 

電極板有效面積

 320mm×280mm×4

 360mm×340mm×5

 360mm×340mm×6

 

等離子電源

 美國進口

 美國進口

 美國進口

 

電源功率

 0～600W

 0～600W

 0～1000W

 

電源頻率

 13.56MHz

 13.56MHz

 13.56MHz/40kHz

 

極限真空度

 2 Pa

 2 Pa

 3Pa

 

PLC控制系統

 西門子PLC 模擬量控制實現所有信號數據集成

 

人機界面

 5.7英寸觸摸屏

 7.1英寸觸摸屏

 10.4英寸觸摸屏

 

MFC

 美國進口質量流量計（MFC）控制精度達1sccm

 

工藝氣體流量

 0～100sccm

 0～200sccm

 0～200sccm

 

電磁閥

 日本進口、超長時間低溫工作

 

工作壓強

 10-130Pa

 

不銹鋼氣體管路

 內外高精度拋光，氣阻小，流量可高達100L/min。

 

單次處理時間

 10-15分鐘

 

真空泵系統

 德國

 德國

 德國/日本

 

參數功能

 配方控制，處理時間、射頻功率、氣體流量設定可調

 

所需環境配置

 

電：AC380V/50Hz  3P，5W RE

 15 A

 20 A

 25 A

 

供氣管路

 0.2至0.6MPa，管徑φ6

 

環境

 最高28℃良好換氣通風

 

濕度

 30%～85%

 

選配功能

 

腔體及電極

 可據客戶要求設計

 

電源功率

 500-2000w之間選配

 

質量流量計

 流量量程及路數可增減

 

干泵

 可據客戶要求配置

 

尾氣處理器

 可選配

 

過濾返油裝置

 可選配

 

油泵低液位報警

 可選配