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小型等離子清洗機

東莞市啟天自動化設備有限公司

產品型號:	QT-36-PSP
產品價格:	價優
產品品牌:	小型等離子清洗機

會員在線咨詢，免費獲取《電氣自動化簡訊》雙月刊

聯系人：林小姐

所在區域：	廣東.東莞
辦公地址：	東莞市樟木頭商旅之家辦公樓17層E11號
郵　　編：	523618
電　　話：	0769-87195860
移動電話：
傳　　真：	0769-87796169
電子郵件：	dgqt@cnqtkj.com

公司主頁：	http://www.cnqtkj.com

詳細描述:

.主要適用于實驗、科研、醫學及小規模的生產領域。

2.特點：成本低，整機機械、電氣結構簡單、實用，易維護。

3.控制方式：手動或自動控制模式，利用各簡單元器件的巧妙

組合成自動控制體系，各參數調整好后，一鍵完成整個清洗工藝。

4.電源功率、清洗時間、氣體流量、凈化真空度等參數可設置。

5.射頻電源手動匹配（自主研發的全固態晶體管輸出型）

6.浮子精密氣體流量計、針閥等控制工藝氣體流量。

7.清洗完成有提示音

8.反射功率過大報警

9.工藝氣體耗盡報警

10.泵熱過載報警

11.反應倉泄漏報警

12.電極采用高通量等離子結構，牢固可靠易拆卸。

13.反應倉為矩形不銹鋼腔體，水平電極板放置，間距可調。

14.真空泵采用雙腔式旋片泵，極限真空度可達2Pa以下，一般采用外置。

15.真空泵可選配液位低報警裝置

小型等離子清洗機主要技術數據及規格：

標準型號

技術配置

QT-12-PSP-

QT-24-PSP

QT-36-PSP

外形尺寸

W700mm×H900mm×D600mm

W700mm×H900mm×D600mm

W700mm×H900mm×D650mm

反應倉

W250mm×H200mm×D300mm

W300mm×H250mm×D320mm

W340mm×H305mm×D350mm

真空腔體材質

不銹鋼加鋁內襯

電極板有效面積

140mm×200mm×4

240mm×220mm×5

280mm×260mm×6

電源功率

0～300W

0～300W

0～600W

電源頻率

13.56MHz

13.56MHz

13.56MHz/40kHz

潔凈真空度

15Pa

15 Pa

1 0Pa

控制系統

半自動控制/全自動控制，繼電器加定時器控制體系

單次處理時間

8-15分鐘

氣體控制

2路精密氣體流量計+針閥+高拋光不銹鋼管路

流量精度

+2sccm

工作壓強

10-90Pa

真空泵系統

德國/國產

德國/國產

德國/日本/國產

參數控制

處理時間、射頻功率、氣體流量可調

所需環境配置

供電環境

AC220V/50Hz8A + 獨立PE線

供氣管路

0.2至0.6MPa，管徑φ6

環境

最高35℃良好換氣通風

濕度

30%～85%

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